Главная - Научная деятельность - Оборудование - Измерительное - Установка совмещения и экспонирования лазерная, включая генератор изображения лазерный Heidelberg mPG101, с антивибрационным гранитным столом; блоками нанесения и сушки фоторезиста.

Установка совмещения и экспонирования лазерная, включая генератор изображения лазерный Heidelberg mPG101, с антивибрационным гранитным столом; блоками нанесения и сушки фоторезиста.

Установка совмещения и экспонирования лазерная, включая генератор изображения лазерный Heidelberg mPG101, с антивибрационным гранитным столом; блоками нанесения и сушки фоторезиста. Увеличить

Предназначена для лазерной литографии для производства микросхем

Информация о производителе

  • Страна производства: Германия
  • Год выпуска: 2015
  • Изготовитель: Heidelberg
  • Марка: mPG101
  • Классификатор: Специальные технологические установки