ФИАН - Установка совмещения и экспонирования лазерная, включая генератор изображения лазерный Heidelberg mPG101, с антивибрационным гранитным столом; блоками нанесения и сушки фоторезиста.

Новости, история,
достижения, награды,
структура, медиа,
сотрудники

Семинары, конкурсы, издания,
публикации, оборудование,
совет молодых ученых,
конференции, наши издания

Аспирантура, кафедры,
докторантура,
защита диссертаций, научные руководители

Документы, инструкции, wi-fi, заявки,электронный доступ к журналам (Полный доступ к разделу после авторизации)

Главная - Институт

Установка совмещения и экспонирования лазерная, включая генератор изображения лазерный Heidelberg mPG101, с антивибрационным гранитным столом; блоками нанесения и сушки фоторезиста.

Предназначена для лазерной литографии для производства микросхем