Предназначена для производства микросхем.
Для маленьких и хрупких подложек используется экспонирование при низковакуумном контакте.
При этом виде контактирования снижается нагрузка по подложку. Достигается разрешение, превышающее параметры при мягком и жестком контакте.
Оптическая установка совмещения и экспонирования SUSS MJB4
Информация о производителе
- Страна производства: Германия
- Год выпуска: 2015
- Марка: SUSS MJB4
- Классификатор: Специальные технологические установки
