Установка для нанесения полимерных диэлектрических пленок (Фото слева)

Предназначена для покрытия образцов полипараксилиленовой плёнкой. Дипараксилилен (димер) возгоняется в вакууме при температуре ~120C, проходит стадию пиролиза при ~720C, из активного мономера в зоне осаждения на всех возможных поверхностях образуется твёрдая полимерная плёнка. Толщина получаемого покрытия 0.5-5мкм (стандартно 1мкм), диэлектрическая проницаемость 2.65, объёмное удельное сопротивление - не хуже 1014 Ом*см, электрическая прочность - не хуже 100В/мкм, относительное удлинение при разрыве - не менее 20%. Масимальный размер покрываемого образца - 2*2см.


Установка для нанесения металлических пленок на поверхность легколетучих материалов

Оптимизирована для нанесения металла на легколетучие вещества (например, органические полупроводники). Так как наносимый металл испаряется с горячего катода, то для предотвращения перегрева образцов из легколетучих материалов испаритель максимально удалён от образца, а сам образец располагается на массивном медном блоке водяного охлаждения (также имеется возможность установки между образцом и медным блоком элемента Пельтье для охлаждения образца ниже 0°C). Контроль толщины пленок в процессе напыления осуществляется с помощью кварцевого измерителя толщины Sigma AQM-160

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Диапазон температур образца -30 - +20ºС.
Напыляемые материалы: Al, In, Ag, Au.


Установка для изготовления контактных масок для напыления методом электроискровой резки

Резка масок из металлической фольги производится вольфрамовой иглой. Игла и фольга подключены к выходу высокочастотного генератора и погружены в дистиллированную воду. В месте их соприкосновения возникает искровой разряд, "выжигающий" фольгу. Толщина реза ограничена толщиной вольфрамовой проволоки (50мкм). Стандартный размер фольги 2см, маски - 8мм. Возможно изготовление масок большего размера.

ДОПОЛНИТЕЛЬНАЯ ИНФОРМАЦИЯ 

Установка для нанесения металлических пленок на поверхность легколетучих материалов	Установка для изготовления контактных масок для напыления методом электроискровой резки
Установка для оптического контроля качества пленок на основе интерференционного микроскопа ЛЮМАМ.