Новости науки

Исследование структурных особенностей высоколегированного кремния с использованием методов спектроскопии комбинационного рассеяния света и спектрофотометрии края непрямого поглощения

Продемонстрирована связь спектрального сдвига края непрямого поглощения высоколегированного кремния с величиной растягивающих или сжимающих гидростатических напряжений в зависимости от концентрации примеси серы. С учетом влияния напряжений на сдвиг полосы комбинационного рассеяния (521 см⁻¹), были измерены размеры зерен в легированных слоях и определены значения средней длины свободного пробега, согласующиеся с измерениями методом эффекта Холла.

https://doi.org/10.1016/j.mssp.2025.110333

Зависимость размера зерен и средней длины свободного пробега носителей от концентрации серы