Новости науки
05.06.26
Исследование структурных особенностей высоколегированного кремния с использованием методов спектроскопии комбинационного рассеяния света и спектрофотометрии края непрямого поглощения
Продемонстрирована связь спектрального сдвига края непрямого поглощения высоколегированного кремния с величиной растягивающих или сжимающих гидростатических напряжений в зависимости от концентрации примеси серы. С учетом влияния напряжений на сдвиг полосы комбинационного рассеяния (521 см⁻¹), были измерены размеры зерен в легированных слоях и определены значения средней длины свободного пробега, согласующиеся с измерениями методом эффекта Холла.


