Новости науки
21.08.25
Характерные временные масштабы динамики носителей заряда в кремнии, сверхлегированном серой, исследованные методом оптической фемтосекундной лазерной накачки и импульсного терагерцового зондирования
Проведены бесконтактные импульсные терагерцовые измерения времен рассеяния и захвата электронов, фотоинжектированных оптическим фс-лазерным импульсом, в поверхностном слое кремния, имплантированного атомами серы в концентрациях от 10^18 до 10^21 см^(–3) с лазерным отжигом. При слабом легировании времена рассеяния и захвата сопоставимы с кристаллическим кремнием, а при увеличении концентрации примеси - резко снижаются.